数字压力表与荷重计专业制造商

数字压力表与荷重计专业制造商 株式会社沃康(VALCOM)

半导及电子行业用途示例

各种压力(供给/排气、大气压恢复、泄漏、清洗)、
真空压以及各种成型载荷的控制(表面、研磨、组装)

各种装置的压力监控(例如蚀刻/CVD等)

各种装置的压力监控(例如蚀刻/CVD等)
  • 1供气压力监控
  • 2气体控制面板内配管泄漏确认
  • 3真空室内真空度到达确认
  • 4真空室内恢复大气压确认
  • 5涡轮泵切换用真空压力确认
  • 6排气处理装置压力监控

清洗水排放压力

清洗装置真空干燥压力控制

纯水的压力监控

半导体前道工艺研磨时的载荷控制

后道工艺成型时的载荷监控

各种光盘表面研磨时的载荷控制

各种电子零部件的压力载荷监控