半导体及电子行业用途示例
各种压力(供给/排气、大气压恢复、泄漏、清洗)、
真空压以及各种成型载荷的控制(表面、研磨、组装)
各种装置的压力监控(例如蚀刻/CVD等)
- 1供气压力监控
- 2气体控制面板内配管泄漏确认
- 3真空室内真空度到达确认
- 4真空室内恢复大气压确认
- 5涡轮泵切换用真空压力确认
- 6排气处理装置压力监控
清洗水排放压力
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清洗装置真空干燥压力控制
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纯水的压力监控
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半导体前道工艺研磨时的载荷控制
后道工艺成型时的载荷监控
各种光盘表面研磨时的载荷控制
各种电子零部件的压力载荷监控
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各种压力(供给/排气、大气压恢复、泄漏、清洗)、
真空压以及各种成型载荷的控制(表面、研磨、组装)
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