圧力・荷重の専門メーカー

圧力・荷重の専門メーカー 株式会社バルコム(VALCOM)

 

半導体産業用クリーン型アンプ内蔵圧力センサ
VSHS/VSHT series
0.3MPa~20MPa

  • 電解研磨仕上げおよび、精密洗浄処理
  • VCR・UJR継手の1/4, 3/8, 1/2およびオネジ・メネジに対応
  • 接液部材質にSUS316L(VIM+VAR)を用いた耐腐食構造
測定媒体 各種ガス・液体などSUS316Lを腐食させない媒体
測定種類 加圧の測定が可能
測定範囲 定格容量0.3~20 MPaの範囲でご指定可能です
また、-0.1~1MPaなどの連成圧での校正も可能です
出力種類 4~20mA(2線式),1~5V,0~5V,0~10Vからご指定ください

仕様

精度 ±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.6%R.C.)
温度補償範囲(測定媒体温度) 0~60℃(結露、氷結不可)
許容温度範囲(測定媒体温度) 0~80℃(結露、氷結不可)
温度ドリフト ±0.5%R.C./10℃
許容過負荷 200%R.C.(20MPa:150%R.C.)
リーク量 1×10-10Pa・m³/sec.以下
受圧接液部材質 SUS316L(VIM+VAR)
VIM:真空誘導溶解法 VAR:真空アーク溶解法
シール方法 特殊電子ビーム溶接
接液部表面仕上げ 電解研磨(Ra0.3μm以下)および精密洗浄
継手形状 VCR対応1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ
UJR対応1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ
ケーブル PVC被覆4芯(電流タイプは2芯)シールド
3m(UL規格対応品)
直出しまたはコネクタ接続
質量 約280g(ケーブル3m含む)
付属品 取扱説明書1部(和文または英文をご指定ください)
試験成績書1部

型式の選択

型式指定例

型式選択 チェック 型式 仕様
1.基本型式   VSHS シングル導入口
  VSHT ダブル導入口
2.ネジサイズ   00 1/4VCR相当一体オネジ
  01 1/4VCR対応オネジ
  02 3/8VCR対応オネジ
  03 1/2VCR対応オネジ
  11 1/4VCR対応メネジ
  12 3/8VCR対応メネジ
  13 1/2VCR対応メネジ
  21 1/4UJR対応オネジ
  22 3/8UJR対応オネジ
  23 1/2UJR対応オネジ
  31 1/4UJR対応メネジ
  32 3/8UJR対応メネジ
  33 1/2UJR対応メネジ
3.アナログ出力 - - 出力種類 応答周波数 許容負荷抵抗 消費電流
  A2 1~5V(3線式) 50Hz 100kΩ以上 約10mA
  A4 0~5V(3線式)
  A5 0~10V(3線式)
  A6 4~20mA(2線式) 500Ω以下 -
4.校正レンジ - - 定格容量 校正レンジの指定例
  右記参照
 枠内のレンジをそのまま記入
0.3MPa 0.3MPa
(0~0.3)MPa
定格容量の60%以上でご指定ください。
※定格容量10MPaは100%のみ
  1MPa 1MPa
(0~1)MPa
  3.5MPa 3.5MPa
(0~3.5)MPa
  10MPa 10MPa
(0~10)MPa
  20MPa 20MPa
(0~20)MPa
5.ケーブル接続形状   S ケーブル直出し
  N コネクタ接続
6.ケーブル長さ   01 1m
  02 2m
  03 3m 標準
  □□ 4~99m ※必要m数をご指定ください m
7.定格容量   003 0.3MPa
  010 1MPa
  035 3.5MPa
  10 10MPa
  20 20MPa
8.電源   4 DC24V(電流出力のみ)
  6 DC15~24V(電圧出力のみ)
9.資料   N 試験成績書(3点計測)/(標準)
  T トレーサビリティ書類
※トレーサビリティ書類内訳
1:トレーサビリティ証明書
2:トレーサビリティ体系図
3:試験成績書(3点計測)
  K 強度計算書
  M ミルシート
  L 強度計算書+ミルシート
  W トレーサビリティ書類+強度計算書
  Y トレーサビリティ書類+ミルシート
  S トレーサビリティ書類+強度計算書+ミルシート

VSHS外形寸法(単位:mm)

※配線接続はこちらをご参照ください

外形寸法図

VSHT外形寸法(単位:mm)

※配線接続はこちらをご参照ください

外形寸法図