微圧・低圧・絶対圧の圧力計測に
オーダーメイド圧力センサVRD series
専用のアンプ内蔵圧力センサで
理想の自動化と安全管理を推進
- CE､RoHS対応
- 選べる
コネクタ形状 - 豊富な
出力形式
50台～／ロットでオーダーメイドの低圧・絶対圧用アンプ内蔵圧力センサがローコストで製造できます。
ご発注から納品までのフロー
- お問い合わせ
- お打ち合わせ・ヒアリング
- 機種指定（ご提案もいたします）
- 評価用サンプルご提出
- 評価結果に基づき必要あれば仕様変更
- 量産
- ご納品
標準仕様
| 定格圧力 | 低圧：5kPa～1000kPa (ゲージ) 他 絶対圧：50kPa (abs)～5MPa (abs) 他 連成圧：±10kPa～、±100kPa、−100～300kPa、−100～1000kPa、他 |
|---|---|
| 電源 | DC10～30V、DC5V (出力0.5～4.5VDC、20mV/V)、その他 |
| 出力 | 4～20mA、1～5V、0～10VDC、0.5～4.5VDC (レシオメトリック)、20mV/V、I2C※1、SPI、その他 |
| 精度 | TEB※2、±1.0%F.S. (−20～85℃)、その他 |
| コネクタ |
|
| 接続ネジ (M：オネジ／F：メネジ) |
R1/2 (M)、R1/4 (M/F)、R1/8 (M)、R3/8 (M/F)、G1/2 (M)、G1/4 (M/F)、G3/8 (M/F)、1/2NPT (M)、1/4NPT (M/F)、1/8NPT (M)、3/8NPT (M/F)、M10X1 (M)、M12X1 (M/F)、M14X1 (M/F)、M16X1.5 (M/F)、M20X1.5 (M/F)、M22X1.5 (M)、7/16-20UNF (M/F)、9/16-18UNF (M/F)、3/4-16UNF (M/F)、その他 ※接続ネジにつきましては圧力レンジにより選定できない場合があります。 |
| 材質 | センサ部：二重ダイアフラム 受圧部：316Lステンレススチール センサ部・受圧部：シリコンチップ＋セラミック台座 (不活性ガス用) |
| 禁油処理・禁水処理 | 禁油処理、禁水処理 |
| 欧州適合 | CEマーク、RoHS2 |
| その他 | 各種ドキュメント関係書類をご用意しております。 弊社営業部までお問い合わせください。 |
※1：I2C（Inter-Integrated Circuit）
※2：TEB（Total Error Band）
- 形状・仕様など、ご要望に合わせた製作が可能です。
- 詳細なお打ち合わせ・ヒアリングやお問い合わせは、各営業所または弊社代理店までお気軽にお申し付けください。
用途例
半導体処理後の排ガス装置動作計測
- 半導体処理後の排ガス装置への供給圧測定
- 排ガス装置のクリーンエア排出圧測定
タンクレベルと低圧供給ポンプ圧の測定
- タンクレベルの測定
- 低圧ポンプの供給圧力測定
真空チャンバの圧力管理
- チャンバ内圧の真空度測定
- 真空ポンプの動作状況計測
高温・高圧滅菌装置の蒸気圧管理
- 滅菌装置への圧入蒸気圧測定
- 加熱終了時の蒸気排出確認
